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然后第一台光刻机就出来了。
这玩意要是购买的话，随便一台也是几千万美元，asml的甚至单价上亿美元。
不过价格不是重点，重点在于有钱都不一定能买得到。
原因是光刻机是生产芯片的核心设备。
工作原理说起来很简单：按照设计好的电路制作一块遮掩板，让一束平行的激光穿透这块遮掩板，用物镜将光束按比例缩小打在硅片上曝光，于是一块硅芯片就制成了。
但实际做起来却有很多困难，比如激光束是否平行的问题，激光束是否太强的问题，甚至一粒小灰尘都会对硅芯片造成芯片损坏。
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